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超临界二氧化碳超声清洗系统

描述:SFE-35型超临界二氧化碳超声清洗系统

超临界二氧化碳无损伤清洗设备。应用此设备对硅片进行清洗的颗粒明显减少,且平均粒径小于传统清洗的粒径。相对用等离子法清洗,该方法不会对硅片造成损伤,同时可减少工艺步骤,节省时间,提高工作效率。
更新时间:2021-04-07
产品型号:SFE-35型
所在城市:南通市
厂商性质:生产厂家
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